SSA600/20步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧實(shí)際上大致都能夠歸結(jié)為一個(gè)比較密封性空間,但在在其中充進(jìn)縮小空氣,而目含有一定的彈力,這樣就能具有很明顯的推動(dòng)作用,與此同時(shí)還要含有調(diào)整設(shè)備,例如可以調(diào)節(jié)相對(duì)高度
氣體壓力,還可以在整個(gè)被震動(dòng)情況下,具有緩存的功效,技術(shù)專 業(yè)避震企業(yè)提供的被動(dòng)式空氣彈簧的氣膜一般都是應(yīng)用高 強(qiáng)度塑料薄膜，氣膜承擔(dān)氣壓為10bar，高質(zhì)量的掃描投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧，全是含有氣壓閥門的，當(dāng)氣壓不穩(wěn)定，或氣壓過大時(shí)，氣壓閥門便會(huì)根據(jù)放空氣來維護(hù)氣膜，也正因?yàn)檫@一原理和優(yōu)勢(shì),因此被動(dòng)式空氣彈簧組織是比較穩(wěn)定的。
那掃描投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧安裝的時(shí)候要留意那些問題呢？

構(gòu)造是不是平穩(wěn),除開跟所選用的產(chǎn)品質(zhì)量緊密相關(guān)之外,實(shí)際上還和安裝是否標(biāo)準(zhǔn)有關(guān),安裝時(shí)一定要留意一些事宜,例如，安裝地面坡度，安裝人員的技術(shù)實(shí)力，安裝的規(guī)劃部位，安裝自然環(huán)境等多種因素,由于商品歸屬于髙壓裝置,所以才能夠使其損壞或是觸碰明火及其用硬塊撞擊等,在安裝位置的相接處,需要確保能夠靈活多變的旋轉(zhuǎn)等。唯有通過正規(guī)技術(shù)性嚴(yán)苛來完成安裝,而且上下之后按時(shí)檢驗(yàn),才能保障所使用的非常長(zhǎng)長(zhǎng)期。